ویکیوم والو صحت سے متعلق سگ ماہی اور ڈرائیو کنٹرول کے ذریعے ویکیوم ماحول میں سیال ریگولیشن کے لئے ایک کلیدی آلہ ہے۔ اس کے کام کرنے والے طریقہ کار کو درج ذیل بنیادی ماڈیولز میں تقسیم کیا جاسکتا ہے۔
1. بنیادی کام کرنے کا طریقہ کار
stay سیلنگ پارٹیشن
آل میٹل بیلوز متحرک مہر کو اپناتے ہوئے (روایتی پیکنگ کے بجائے) ، جب والو ویکیوم چیمبر کی ہوا کو برقرار رکھنے کے ل move ، اور رساو کی شرح 1 × 10⁻⁰ پا · m³/s سے کم یا اس کے برابر ہوتی ہے۔
جب گیٹ بند ہوجاتا ہے تو ، یہ آئینے سے پالش والو سیٹ (RA 0.2μm سے کم یا اس کے برابر) کے ساتھ ایک مالیکیولر فٹ تشکیل دیتا ہے ، اور رابطے کے سگ ماہی کے اثر کو بڑھانے کے لئے تانبے کے کھوٹ سگ ماہی کی انگوٹھی کے ساتھ تعاون کرتا ہے۔
drive ڈرائیو کنٹرول
manumal معمولی قسم: کیڑے گیئر ٹرانسمیشن ، ہینڈ وہیل کو گھوماتے ہوئے کمانیں اوپر اور نیچے کی جاتی ہیں ، اور ٹارک 15n · m4 سے کم یا اس کے برابر ہے۔
الیکٹرک ٹائپ: اسٹپر موٹر ڈرائیو ، 0.01 ملی میٹر کی پوزیشننگ کی درستگی ، سیمیکمڈکٹر ویفر ٹرانسمیشن سسٹم کے لئے موزوں ہے۔
n نیومیٹک قسم: کمپریسڈ ایئر سلنڈر پسٹن کو چلاتا ہے ، جوابی وقت ہے<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
pressure دباؤ کا توازن
والو باڈی KF16 معاون ہوائی نکالنے والے بندرگاہ سے لیس ہے۔ کھلنے اور بند ہونے سے پہلے ، ہوا کے بہاؤ کی خرابی کو روکنے کے لئے والو گہا اور سسٹم (ΔP ＜ 10PA) کے مابین دباؤ کے فرق کو متوازن کرنے کے لئے ایک آزاد ویکیوم پمپ کا استعمال کیا جاتا ہے۔
2. عام ورکنگ موڈ
| موڈ | آپریشن کا عمل | درخواست |
|---|---|---|
| verly ساتھ منسلک | گیٹ ڈبل مہر بنانے کے لئے والو سیٹ کو مکمل طور پر دباتا ہے (بیلوز + رابطہ کی سطح) | ذرہ ایکسلریٹر بیم ٹیوب تنہائی |
| بہاؤ کا ضابطہ | والو پلیٹ کھولنے کو 10 ٪ -90 ٪ پر کنٹرول کیا جاتا ہے ، اور لکیری بہاؤ کنٹرول V کے سائز کے تھروٹلنگ نالی کے ذریعے حاصل کیا جاتا ہے | ویکیوم کوٹنگ کے عمل کے لئے گیس انجیکشن |
| فوری کٹ | نیومیٹک ایکچوایٹر ایمرجنسی شٹ ڈاؤن کے طریقہ کار کو متحرک کرتا ہے ، جوابی وقت 0.3s سے کم یا اس کے برابر | نیوکلیئر فیوژن ڈیوائس رساو ایمرجنسی |
| دباؤ کی بحالی | ویکیوم گیج کے ساتھ منسلک ، ویکیوم ڈگری (± 0.5pa) کو برقرار رکھنے کے لئے والو افتتاحی خود بخود ٹھیک ہے | خلائی ماحولیات تخروپن چیمبر |
3. مواد اور عمل کی خصوصیات
body valve باڈی: 316L الٹرا-لو کاربن سٹینلیس سٹیل الیکٹرولائٹک پالش ، گیس جذب کی سطح کے رقبے کو 60 فیصد سے زیادہ کم کرنا
sening سیلنگ اجزاء: ہیسٹیلائے سی -276 بیلوز (100،000 تھکاوٹ چکروں کے خلاف مزاحم) + آکسیجن فری تانبے کی مہر لگانے کی انگوٹھی (وکرز سختی HV80)
surs سرفیس ٹریٹمنٹ: سگ ماہی سطح آئن اسپٹرنگ ٹائٹینیم چڑھانا (موٹائی 2μm) ، رگڑ گتانک 0.08 تک کم ہوگئی۔
4. درخواست کا منظر نامہ موازنہ
| فیلڈ | والو کی قسم | ویکیوم کی ضروریات | خصوصی ضروریات |
|---|---|---|---|
| سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ | الیکٹرک ہائی ویکیوم والو | 1 × 10⁻⁷ PA سے کم یا اس کے برابر | 150 ڈگری بیکنگ کے خلاف مزاحم ، صفر ذرہ رہائی |
| خلائی جہاز کی جانچ | نیومیٹک فوری بند کرنے والا والو | 1 × 10⁻⁵ PA سے کم یا اس کے برابر | کمپن مزاحمت (20-2000Hz) |
| Syncrotron تابکاری کا ماخذ | مائع ٹھنڈا گیٹ والو | 1 × 10⁻⁹ PA سے کم یا اس کے برابر | مائع نائٹروجن کولنگ جیکٹ (-196 ڈگری) |
| نیوکلیئر فیوژن ڈیوائس | تابکاری مزاحم تنہائی والو | 1 × 10⁻⁴ PA سے کم یا اس کے برابر | نیوٹران شعاع ریزی مزاحمت (10⁹ n/cm²) |
5. کارکردگی کی حد پیرامیٹرز
درجہ حرارت کی حد: -269 ڈگری (مائع ہیلیم کولنگ کی قسم) سے 450 ڈگری (اعلی درجہ حرارت مصر کی قسم)
قطر کی حد: مائیکرو والو φ6 ملی میٹر سے بڑے ویکیوم چیمبر والو φ1200 ملی میٹر
لائف انڈیکس: بیلوز سیل اسمبلی سے زیادہ یا اس کے برابر 50،000 کے افتتاحی اور بند کرنے والے سائیکلوں سے زیادہ